氙（Xe）、氪（Kr）和氖（Ne）等惰性气体在大气中的含量极少。因此，只有大型空气分离装置（ASU）才值得通过液化空气分馏法提取这些惰性气体。按体积计算，氖在空气中的比例仅为 0.00161%。
氖一方面用于照明工业，另一方面用于半导体工业。在后者的应用中，需要高纯度的氖作为半导体光刻技术中分辨率为 7 纳米的激光的缓冲气体。
背景介绍
解决方案
使用 HSense 可以在线检测氖气加压容器（气瓶或储气罐）中的氢气和氦气杂质。
由于检测限低（< 1ppm H2 和 <4ppm He），霓虹灯的检测纯度可达 ≧ 99.999 vol%。
优势
一方面，使用 HSense 可以快速测量氖中的 H2 和 He 杂质，另一方面，由于使用了扇形场质谱仪，检测结果非常可靠。可以检测到低于 1 ppm 的痕量氢和低于 4 ppm 的痕量氦。测量结果可在几分钟内得出。
如有需要，校准和测量可完全自动化。分析证书（CoAs）可根据用户自定义模板轻松创建。
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