利用 IMR-MS 对胺和工艺降解产物的排放进行在线监测,可确保只向空气中排放最低浓度的这些化合物。
氙(Xe)、氪(Kr)和氖(Ne)等惰性气体在大气中的含量极少。因此,只有大型空气分离装置(ASU)才值得通过液化空气分馏法提取这些惰性气体。按体积计算,氖在空气中的比例仅为 0.00161%。
氖一方面用于照明工业,另一方面用于半导体工业。在后者的应用中,需要高纯度的氖作为半导体光刻技术中分辨率为 7 纳米的激光的缓冲气体。
使用V&F HSense可以在线检测氖加压气体容器(气瓶或储气罐)中现有的氢和氦杂质。
由于检测限低(< 1ppm H2 和 <4ppm He),可对纯度≧ 99.999 vol%的氖气进行检测。