O oxigénio puro é geralmente produzido em instalações criogénicas de separação de ar. Normalmente, as purezas medidas situam-se na gama de 97,5% a 99,5%. A cromatografia gasosa é utilizada habitualmente para determinar as impurezas contidas no processo de produção. No entanto, esta tecnologia requer múltiplos instrumentos para os diferentes grupos de impurezas e, normalmente, demora vários minutos a analisar. Uma análise mais rápida requer dispositivos em linha.