크세논 (Xe), 크립톤 (Kr), 네온(Ne)과 같은 희귀 가스는 대기 중에 극소량만 존재합니다. 따라서 액화 공기의 분별 증류를 통해 이러한 희귀 가스를 추출하는 것은 매우 큰 공기 분리 장치 (ASU) 에서만 가치가 있습니다. 공기 중 네온의 비율은 부피 기준으로 0.00161% 에 불과합니다.
네온은 한편으로는 조명 산업에서, 다른 한편으로는 반도체 산업에서 필요합니다. 후자의 경우, 고순도 네온은 7nm 해상도의 반도체 리소그래피에서 레이저의 버퍼 가스로 필요합니다.
HSense 를 사용하면 네온 가압 가스 용기(실린더 또는 저장 탱크)에 존재하는 수소 및 헬륨 불순물을 온라인으로 감지할 수 있습니다.
낮은 검출 한계 (<1ppm H2 및 <4ppm He) 덕분에 네온은 ≧ 99.999 vol% 순도로 테스트할 수 있습니다.
한편으로 네온의 H2 및 He 불순물은 HSense 로 빠르게 측정할 수 있으며, 다른 한편으로 섹터 필드 질량 분석기를 사용하여 매우 안정적으로 검출할 수 있습니다. 1ppm 이하의 미량의 수소와 4ppm 이하의 헬륨을 검출할 수 있습니다. 측정 결과는 몇 분 이내에 확인할 수 있습니다.
필요한 경우 보정 및 측정은 완전 자동화할 수 있습니다. 사용자가 정의할 수 있는 템플릿을 기반으로 분석 인증서 (CoA) 를 쉽게 생성할 수 있습니다.
