크세논(Xe), 크립톤(Kr), 네온(Ne)과 같은 희귀 가스는 대기 중에 극소량만 존재합니다. 따라서 액화 공기의 분별 증류를 통해 이러한 희귀 가스를 추출하는 것은 매우 큰 공기 분리 장치(ASU)에서만 가치가 있습니다. 공기 중 네온의 비율은 부피 기준으로 0.00161%에 불과합니다.
네온은 한편으로는 조명 산업에서, 다른 한편으로는 반도체 산업에서 필요합니다. 후자의 경우, 고순도 네온은 7nm 해상도의 반도체 리소그래피에서 레이저의 버퍼 가스로 필요합니다.
HSense를 사용하면 네온 가압 가스 용기(실린더 또는 저장 탱크)에 존재하는 수소 및 헬륨 불순물을 온라인으로 감지할 수 있습니다.
낮은 검출 한계(<1ppm H2 및 <4ppm He) 덕분에 네온은 ≧ 99.999 vol% 순도로 테스트할 수 있습니다.
한편으로 네온의 H2 및 He 불순물은 HSense로 빠르게 측정할 수 있으며, 다른 한편으로 섹터 필드 질량 분석기를 사용하여 매우 안정적으로 검출할 수 있습니다. 1ppm 이하의 미량의 수소와 4ppm 이하의 헬륨을 검출할 수 있습니다. 측정 결과는 몇 분 이내에 확인할 수 있습니다.
필요한 경우 보정 및 측정은 완전 자동화할 수 있습니다. 사용자가 정의할 수 있는 템플릿을 기반으로 분석 인증서(CoA)를 쉽게 생성할 수 있습니다.
