キセノン（Xe）、クリプトン（Kr）、ネオン（Ne）などの希ガスは、大気中にごく少量しか存在しない。そのため、液化空気の分留によるこれらの希ガスの抽出は、非常に大きな空気分離装置（ASU）でのみ価値がある。大気中のネオンの割合は、わずか0.00161体積％である。
ネオンは、一方では照明産業で、他方では半導体産業で必要とされている。後者の用途では、高純度のネオンが、7nmの解像度を持つ半導体リソグラフィーのレーザー用バッファガスとして必要とされている。
背景
ソリューション
HSenseでは、ネオン加圧ガス容器（ボンベまたは貯蔵タンク）内の水素とヘリウムの不純物をオンラインで検出できます。
低い検出限界（<1ppm H2、<4ppm He）により、ネオンは99.999 vol%以上の純度で検査できます。
メリット
一方では、ネオン中の H2 と He の不純物を HSense で迅速に測定することができ、他方では、使用されているセクターフィールド質量分析計により、検出の信頼性は非常に高い。1ppm以下の水素と4ppm以下のヘリウムを検出することができます。測定結果は数分以内に得られます。
校正と測定は、必要に応じて完全に自動化することができます。分析証明書（CoA）は、ユーザー定義可能なテンプレートに基づいて簡単に作成できます。
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