L'ossigeno puro viene generalmente prodotto in impianti criogenici di separazione dell'aria. In genere, la purezza misurata è compresa tra il 97,5% e il 99,5%. La gascromatografia viene utilizzata abitualmente per determinare le impurità contenute nel processo di produzione. Tuttavia, questa tecnologia richiede più strumenti per i diversi gruppi di impurità e di solito richiede diversi minuti per l'analisi. Un'analisi più rapida richiede dispositivi online.