Edelgase wie Xenon (Xe), Krypton (Kr) und Neon (Ne) kommen nur in sehr geringen Mengen in der Atmosphäre vor. Die Gewinnung dieser Edelgase mittels fraktionierter Destillation verflüssigter Luft rechnet sich daher nur bei sehr großen Luftzerlegungsanlagen (ASU). Der Anteil von Neon in der Luft beträgt lediglich 0,00161 Vol%.

Neon wird einerseits in der Leuchtenindustrie und andererseits in der Halbleiterindustrie benötigt. Für letztere Anwendung wird hochreines Neon als Buffergas für Laser in der Halbleiter-Lithografie mit einer Auflösung von 7 nm benötigt.

Einerseits können mit einer HSense H₂ und He Verunreinigungen in Neon schnell gemessen werden und andererseits ist die Detektion aufgrund des verwendeten Sektorfeld-Massenspektrometers sehr zuverlässig. Dabei können Spuren von Wasserstoff unter 1 ppm und von Helium unter 4 ppm nachgewiesen werden. Das Messergebnis liegt innerhalb von wenigen Minuten vor.

Die Kalibrierung und Messung erfolgt - wenn gewünscht - vollautomatisch. Eine Erstellung von Analysenzertifikaten (CoAs) basierend auf selbst definierbaren Vorlagen ist einfach möglich.