Impuretés H2 et He dans le néon

Contexte

Les gaz rares comme le xénon (Xe), le krypton (Kr) et le néon (Ne) ne sont présents qu'en très petites quantités dans l'atmosphère. L'extraction de ces gaz rares par distillation fractionnée de l'air liquéfié n'est donc rentable que pour les très grandes unités de séparation d'air (ASU). La proportion de néon dans l'air n'est que de 0,00161 % en volume.

Le néon est utilisé d'une part dans l'industrie de l'éclairage et d'autre part dans l'industrie des semi-conducteurs. Pour cette dernière application, le néon de haute pureté est nécessaire comme gaz tampon pour les lasers utilisés dans la lithographie des semi-conducteurs avec une résolution de 7 nm.

Solution

La HSense permet de détecter en ligne les impuretés d'hydrogène et d'hélium présentes dans un réservoir de gaz comprimé de néon (bouteille ou réservoir de stockage).

Grâce aux faibles limites de détection (< 1ppm H2 et <4 ppm He), le néon peut être contrôlé avec une pureté de ≧ 99,999% en volume.

Photo Industry Solution V&F Industrial Gases Impurities Neon

Avantage

D'une part, une HSense permet de mesurer rapidement les impuretés H2 et He dans le néon et, d'autre part, la détection est très fiable grâce au spectromètre de masse à champ sectoriel utilisé. Des traces d'hydrogène inférieures à 1 ppm et d'hélium inférieures à 4 ppm peuvent ainsi être détectées. Le résultat de la mesure est disponible en quelques minutes.

L'étalonnage et la mesure sont - si on le souhaite - entièrement automatisés. Il est possible d'établir facilement des certificats d'analyse (CoAs) sur la base de modèles à définir soi-même.

Points forts

  • Détection sensible des traces d'impuretés de H2 et He
  • Technique de mesure rapide & fiable
  • Gain de temps & coût réduit

Clients de référence (extrait)

Reference Tokyo Gas

Geeignete Geräte