El oxígeno puro se produce generalmente en plantas criogénicas de separación de aire. Normalmente, las purezas medidas oscilan entre el 97,5 % y el 99,5 %. La cromatografía de gases se utiliza habitualmente para determinar las impurezas contenidas en el proceso de producción. Sin embargo, esta tecnología requiere varios instrumentos para los distintos grupos de impurezas y un análisis suele durar varios minutos. Para un análisis más rápido, se necesitan dispositivos en línea.